纳米真空互联实验站一期调试完成并进入用户试运行阶段
文章来源:苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 作者:NANO-X 陆晓鸣 | 发布时间:2019-04-04 | 【打印】
纳米真空互联实验站是由中科院、江苏省、苏州市及工业园区四方共同投资的重大科技基础设施,一期小型验证装置自2014年立项以来,经过五年多的努力,于2018年5月搬入新实验大厅。经过近一年的紧张安装调试,该装置已经达到预期的验收指标,并进入一期项目验收期。2019年3月28日通过工艺专业组验收、4月2日通过档案专业组验收,即将迎来一期项目总体验收。
同时该装置也是一个集材料生长、测试分析、器件工艺于一体的科研和技术开发服务平台,热诚欢迎科研及企业来做实验,充分体现真空互联装置的优势,并对进一步做好开放运行工作献计献策。